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芯片贴装方法、结构及系统技术方案
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文档序号:40077884
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本发明提供了一种芯片贴装方法、结构及系统,属于半导体器件技术领域,用于解决碳基异质衬底贴装难度大,成本较高的问题。本发明的芯片贴装方法包括:在衬底的背面上形成第一金属镀层;在第一金属镀层和/或基板表面上印刷纳米铜膏;通过纳米铜膏将衬底的背面...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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