下载半导体存储器装置及半导体存储器装置的制造方法的技术资料

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提供了半导体存储器装置及半导体存储器装置的制造方法。该半导体存储器装置包括:掺杂半导体层,其包括面向第一方向的上表面;多功能层叠物,其包括在掺杂半导体层上方在第一方向上彼此交替地层叠的多个层间绝缘层和多个导电层,多功能层叠物包括凹槽;内衬绝...
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