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本发明公开了一种用于背照式图像传感器的光罩的套刻精度的监测方法及其监测装置，该方法包括：测量确定出对于晶圆正面的参考光罩的参考注计差；测量确定出对于晶圆背面的某一层光罩的第一注计差；基于所述第一注计差和所述参考注计差，确定出所述对于晶圆背面...
该专利属于格科半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格科半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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