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半导体结构的制备方法和半导体结构技术
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文档序号:40076411
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本发明的实施例提供了一种半导体结构的制备方法和半导体结构,涉及半导体技术领域,该制备方法首先完成Cap制程,在半导体衬底上制备电容元件,然后在电容元件上沉积形成刻蚀阻挡层,再在刻蚀阻挡层上沉积层间介质层,并在层间介质层上涂布平面化胶层消除层...
该专利属于成都高真科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都高真科技有限公司授权不得商用。
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