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本发明提供一种铝靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)铝锭依次经第一预热、第一锻造和第一热处理后，得到处理后铝锭；(2)所述处理后铝锭依次经第二预热、第二锻造和第二热处理后，热轧，得到半成品铝靶坯；(3)所述半成品铝靶坯经第三热处...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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