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本发明涉及晶圆检测技术领域，涉及一种晶圆凸块表面缺陷的自相关检测方法、装置及存储介质。该方法具有如下步骤：S1、获取待检晶圆图像；S2、对于任一像素尺寸的均一背景图像，获取相应的图像缩小集合；S3、按缩放倍数降低的顺序依次对图像缩小集合中的...
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