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本技术公开了一种晶圆研磨装置，包括伺服驱动电机和研磨盘，所述伺服驱动电机的输出底端固定安装有连接套筒，且连接套筒的中心设置有六边形衔接槽，所述连接套筒的外表面开设有限位组装槽，且限位组装槽的内部底端安装有缓冲球体，并且缓冲球体与连接套筒相互...
该专利属于浙江天极集成电路技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江天极集成电路技术有限公司授权不得商用。

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