下载用于红外探测器的盖帽结构及其形成方法的技术资料

文档序号:40048442

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本发明提供一种用于红外探测器的盖帽结构及其形成方法。该盖帽结构及其形成方法中,衬底的正面形成有第一凹槽,第一凹槽限定出间隔分布的多个第一信号接收柱,衬底的背面形成有第二凹槽,第二凹槽与第一凹槽位置对应,且第二凹槽限定出间隔分布的多个第二信号...
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