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原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法技术方案
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下载原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法的技术资料
文档序号:40048207
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在向处理装置供给通过气化装置使粉末原料气化而生成的原料气体的原料气体供给系统中对向气化装置供给粉末原料的粉末原料供给装置补充粉末原料的粉末原料补充机构具有:配管,该配管的一端连接于粉末原料供给装置;粉末原料盒,其填充有粉末原料;连接部,其设...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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