原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法技术方案

在向处理装置供给通过气化装置使粉末原料气化而生成的原料气体的原料气体供给系统中对向气化装置供给粉末原料的粉末原料供给装置补充粉末原料的粉末原料补充机构具有：配管，该配管的一端连接于粉末原料供给装置；粉末原料盒，其填充有粉末原料；连接部，其设置于配管的另一端侧，粉末原料盒以能够装卸的方式连接于所述连接部；开闭部，其设置于配管的另一端侧，对配管与粉末原料盒之间进行开闭；以及真空排气部，其对配管内进行真空排气来将配管内保持为真空，其中，在通过真空排气部将配管内保持为真空的状态下，将粉末原料盒连接于连接部，通过在该状态下将开闭部打开来向粉末原料供给装置搬送粉末原料盒内的粉末原料。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及一种原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法。

技术介绍

1、在专利文献1中提出了一种原料气体供给系统，该原料气体供给系统具有：气化装置，其收容粉末原料并使该粉末原料气化；原料气体供给管，其用于向处理装置供给由气化装置生成的原料气体；以及粉末原料的供给装置(补给装置)，其向气化装置供给粉末原料。在专利文献1中，供给装置(补给装置)构成为被以能够装卸的方式安装填充有粉末原料的原料盒。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2020-180354号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、本公开提供一种能够不与大气接触地对向气化装置供给粉末原料的粉末原料供给装置补充粉末原料的技术。

3、用于解决问题的方案

4、本公开的一个方式所涉及的粉末原料补充机构在向处理装置供给通过气化装置使粉末原料气化而生成的原料气体的原料气体供给系统中对向所述气化装置供给所述粉末原料的粉末原料供给装置补充所述粉末原料，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种粉末原料补充机构，在向处理装置供给通过气化装置使粉末原料气化而生成的原料气体的原料气体供给系统中对向所述气化装置供给所述粉末原料的粉末原料供给装置补充所述粉末原料，所述粉末原料补充机构具有：

2.根据权利要求1所述的粉末原料补充机构，其中，

3.根据权利要求2所述的粉末原料补充机构，其中，

4.根据权利要求3所述的粉末原料补充机构，其中，

5.根据权利要求2所述的粉末原料补充机构，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的粉末原料补充机构，其中，

7.根据权利要求1～5中的任一项所述的粉末原料补充机构，其...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种粉末原料补充机构，在向处理装置供给通过气化装置使粉末原料气化而生成的原料气体的原料气体供给系统中对向所述气化装置供给所述粉末原料的粉末原料供给装置补充所述粉末原料，所述粉末原料补充机构具有：

2.根据权利要求1所述的粉末原料补充机构，其中，

3.根据权利要求2所述的粉末原料补充机构，其中，

4.根据权利要求3所述的粉末原料补充机构，其中，

5.根据权利要求2所述的粉末原料补充机构，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的粉末原料补充机构，其中，

7.根据权利要求1～5中的任...

【专利技术属性】
技术研发人员：小森荣一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：