下载直拉硅单晶炉装置的技术资料

文档序号:4004429

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本实用新型提供了一种提高单晶硅纯度的直拉硅单晶炉装置,该单晶炉装置的特征在于,在炉腔(16)中硅熔体(14)的上方设置一个两端开口长筒形的罩体(5),所述罩体(5)的上端设置于炉腔的上部,开口正对着副室,或设置于副室(1)内,罩体(5)与硅...
该专利属于内蒙古晟纳吉光伏材料有限公司;周俭所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古晟纳吉光伏材料有限公司;周俭授权不得商用。

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