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本技术涉及半导体制作工艺设备技术领域，具体是涉及一种离心式涂胶机构，包括用于对晶圆半导体进行固定的吸附机构、用于对涂胶进行喷洒和喷涂位置进行调节的调整机构，还包括用于对晶圆半导体和喷头进行同一轴心调节的定位机构；有益效果：通过设置有升降柱等...
该专利属于郑州轨道交通信息技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过郑州轨道交通信息技术研究院授权不得商用。

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