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本发明提供一种半导体工艺设备及其控制方法和控制装置。其中，控制方法包括在半导体工艺开始之前进行的配方优化步骤；配方优化步骤包括：获取半导体工艺的初始配方；根据初始配方中的各个工艺步骤的工艺参数，依次判断每个工艺步骤是否需要进行点火；若否，则...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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