下载体声波谐振装置及体声波谐振装置的形成方法的技术资料

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体声波谐振装置及体声波谐振装置的形成方法,结构包括:压电层,包括谐振区以及第一非谐振区和第二非谐振区;第一电极层,位于谐振区和第一非谐振区第一侧;第一钝化层,位于第二非谐振区、第一电极层顶部和边缘侧壁;第二电极层,位于谐振区和第二非谐振区第...
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