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本技术涉及晶体硅太阳能电池技术领域，公开了一种TCO薄膜和异质结太阳能电池。该TCO薄膜包括多层膜结构；其中，所述多层膜结构包括交替叠加的未掺杂碳氢的导电氧化物层和掺杂碳氢的导电氧化物层。本技术提供的TCO薄膜具有未掺杂碳氢的导电氧化物层、...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。

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