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本技术公开了一种晶圆电镀固定装置和晶圆电镀设备，属于晶圆电镀技术领域，晶圆电镀固定装置包括夹持盘和金属网，夹持盘中心设置有圆形凹陷区且用于将晶圆夹持固定在圆形凹陷区中；金属网固定安装在圆形凹陷区中且位于夹持盘和晶圆之间；金属网用于与外部电源...
该专利属于广州市艾佛光通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。

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