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本发明涉及一种用于种子激光器的光学隔离器，包括：声光调制器晶体，所述声光调制器晶体被配置成操控入射到所述声光调制器晶体的激光，和至少一个冷却系统，所述至少一个冷却系统被配置成调节所述声光调制器晶体的温度，所述冷却系统包括：冷却元件，所述冷却...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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