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偏移量测设备及其操作方法技术
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文档序号:40020263
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一种偏移量测设备的操作方法包括:将第一待测物设置在第一导电垫与第二导电垫之间,其中第一待测物的主动区的两端分别电性连接第一导电垫的连接区以及第二导电垫的连接区,且第一待测物具有覆盖部分主动区的光阻区、电性连接第一导电垫的连接区的第一接触点以...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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