【技术实现步骤摘要】
本专利技术关于一种偏移量测设备的操作方法。
技术介绍
1、一般而言，偏移量测设备通常会使用叠对框(overlay box)的方式对待测物进行偏移量测。举例来说，偏移量测设备的基准层可包围待测物。并且，偏移量测设备可计算基准层与待测物在第一方向(例如x方向)以及第二方向(例如y方向)之间的距离，以判断待测物是否偏移。然而，这样的配置造成基准层只能以正方形的方式设计，不利于基准层应用于待测物表面具有不同高度时的情况。此外，当待测物表面具有高度变化时，使用偏移量测设备判断待测物是否偏移将产生误差，降低了偏移量测设备的操作灵敏度。
技术实现思路
1、本专利技术的一技术态样为一种偏移量测设备的操作方法。
2、根据本专利技术一实施方式，一种偏移量测设备的操作方法包括：将第一待测物设置在第一导电垫与第二导电垫之间，其中第一待测物的主动区的两端分别电性连接第一导电垫的连接区以及第二导电垫的连接区，且第一待测物具有覆盖部分主动区的光阻区、电性连接第一导电垫的连接区的第一接触点以及电性连接第二导电垫的连接区的第二接触点；经由第一接触点与第二接触点提供定电流通过第一待测物的主动区；在第一导电垫与第二导电垫上量测第一待测物的第一电阻值；以及根据第一电阻值与第一待测物的预定电阻值判断第一待测物的光阻区的偏移。
3、在本专利技术一实施方式中，上述方法还包括：将第二待测物设置在第二导电垫与第三导电垫之间，其中第二待测物的主动区的两端分别电性连接第二导电垫的连接区以及第三导电垫的连接区，且
4、在本专利技术一实施方式中，上述第一接触点与第二接触点的连线方向垂直于第三接触点与第四接触点的连线方向。
5、在本专利技术一实施方式中，上述方法还包括：经由第三接触点与第四接触点使定电流通过第二待测物；以及在第二导电垫与第三导电垫上量测第二待测物的第二电阻值。
6、在本专利技术一实施方式中，上述方法还包括：根据第二电阻值与第二待测物的预定电阻值判断第二待测物的光阻区的偏移。
7、本专利技术的另一技术态样为一种偏移量测设备。
8、根据本专利技术一实施方式，一种偏移量测设备包括第一导电垫、第二导电垫、电源供应器以及量测单元。第一导电垫具有连接区。第二导电垫具有连接区。第一导电垫的连接区与第二导电垫的连接区配置以分别电性连接第一待测物的主动区的两端。第一待测物具有覆盖部分主动区的光阻区、电性连接第一导电垫的连接区的第一接触点以及电性连接第二导电垫的连接区的第二接触点。电源供应器电性连接第一导电垫与第二导电垫。电源供应器配置以经由第一接触点与第二接触点提供定电流通过第一待测物。量测单元电性连接电源供应器。量测单元配置以量测第一待测物的第一电阻值，并根据第一电阻值与第一待测物的预定电阻值判断第一待测物的光阻区的偏移。
9、在本专利技术一实施方式中，上述偏移量测设备还包括第三导电垫。第三导电垫具有连接区且电性连接电源供应器。第二导电垫位于第一导电垫与第三导电垫之间。
10、在本专利技术一实施方式中，上述第二导电垫的连接区与第三导电垫的连接区配置以电性连接第二待测物的主动区的两端。第二待测物具有覆盖部分主动区的光阻区、电性连接第二导电垫的连接区的第三接触点以及电性连接第三导电垫的连接区的第四接触点。
11、在本专利技术一实施方式中，上述量测单元还配置以量测第二待测物的第二电阻值，并根据第二电阻值与第二待测物的预定电阻值判断第二待测物的光阻区的偏移。
12、在本专利技术一实施方式中，上述第一接触点与第二接触点的连线方向垂直于第三接触点与第四接触点的连线方向。
13、在本专利技术上述实施方式中，由于偏移量测设备使用比对第一待测物的第一电阻值与预定电阻值的方式判断第一待测物的光阻区是否偏移(也就是说，偏移量测设备使用量测电阻的方式判断第一待测物的光阻区是否偏移)，因此偏移量测设备可应用于表面具有高度变化的第一待测物，可增加偏移量测设备的使用机率并提高其操作灵敏度。此外，当偏移量测设备判断第一待测物的光阻区偏移时，可记录偏移数据并将数据回传给前端作业人员以利调整或保养工艺机台。
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1.一种偏移量测设备的操作方法，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的操作方法，还包含：
3.如权利要求2所述的操作方法，其中该第一接触点与该第二接触点的连线方向垂直于该第三接触点与该第四接触点的连线方向。
4.如权利要求2所述的操作方法，其中，还包含：
5.如权利要求4所述的操作方法，其中，还包含：
6.一种偏移量测设备，其特征在于，包含：
7.如权利要求6所述的偏移量测设备，还包含：
8.如权利要求7所述的偏移量测设备，其中该第二导电垫的该连接区与该第三导电垫的该连接区配置以电性连接第二待测物的主动区的两端，且该第二待测物具有覆盖部分该主动区的多个光阻区、电性连接该第二导电垫的该连接区的第三接触点以及电性连接该第三导电垫的该连接区的第四接触点。
9.如权利要求8所述的偏移量测设备，其中该量测单元还配置以量测该第二待测物的第二电阻值，并根据该第二电阻值与该第二待测物的预定电阻值判断该第二待测物的所述多个光阻区的偏移。
10.如权利要求8所述的偏移量测设备，其中该第一接
...【技术特征摘要】
1.一种偏移量测设备的操作方法，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的操作方法，还包含：
3.如权利要求2所述的操作方法，其中该第一接触点与该第二接触点的连线方向垂直于该第三接触点与该第四接触点的连线方向。
4.如权利要求2所述的操作方法，其中，还包含：
5.如权利要求4所述的操作方法，其中，还包含：
6.一种偏移量测设备，其特征在于，包含：
7.如权利要求6所述的偏移量测设备，还包含：
8.如权利要求7所述的偏移量测设备，其中该第二导电垫的...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄崇勋，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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