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对于一种电子束系统，维恩滤波器位于转移透镜与载物台之间的电子束的路径中。所述系统包含：接地电极，其在所述维恩滤波器与所述载物台之间；电荷控制板，其在所述接地电极与所述载物台之间；及加速电极，其在所述接地电极与所述电荷控制板之间。所述系统可为...
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