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所公开的是用于在基板处理系统中的压力变化期间最小化基板污染的实施方式。在基板处理系统的腔室中的压力变化(增大或减小)的持续时间内，流率被调整多次，以减少所述腔室的环境中污染物颗粒的出现。在一些情况下，使用至少一个动态阀来连续改变流率，使得能...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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