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本申请公开了一种上电极组件及半导体工艺腔室，上电极组件包括层叠设置的电极板和加热组件；所述加热组件沿径向包括中心加热区和至少一个环形加热区，所述至少一个环形加热区依次环绕所述中心加热区设置，所述中心加热区以及所述至少一个环形加热区分别独立给...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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