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本发明涉及一种晶圆处理装置，至少包括能够载置晶圆的负载锁定腔或片腔、传输腔及能够对晶圆进行处理的处理腔，传输腔设有用于传输晶圆的机械手，机械手包括多级机械臂、连接于末级机械臂的输运手指及末端调节系统，末级机械臂的前级机械臂至少包括沿竖直方向...
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