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本申请提供一种洁净设备接口电路及采样控制系统，应用于半导体制造设备技术领域，其中洁净设备接口电路包括相互通信连接的一级控制电路和二级控制电路，二级控制电路包括若干接口，这些接口用于向外部电路提供通信连接接口，一级控制电路能够一对多地与二级控...
该专利属于弥费科技（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过弥费科技（上海）股份有限公司授权不得商用。

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