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本发明提供一种晶圆切割工程静电监测标记系统，包括:标签扫描装置、静电消除器、光电传感器、PC端和服务器，本晶圆切割工程静电监测标记系统，在晶圆切割前的晶圆等待区增设标签扫描装置，获取待加工晶圆的ID信息传输至服务器内，服务器核对ID信息并建...
该专利属于海太半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海太半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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