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本发明提供一种自动检测晶背明场像异常的方法，通过直方图均衡化对晶背明场像进行处理，得到处理后的图像；对处理后的图像进行灰度直方图统计；计算每张图像的异常像素点的个数；提供阈值，将分值低于阈值的所述图像突出显示，本发明通过图像预处理和特定的计...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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