温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请公开了一种半导体硅片防掉落装置,包括防掉篮以及设置在防掉篮上方的晶托,所述防掉篮包括两个相对设置的U型篮侧挡板,两侧所述U型篮侧挡板之间连接有若干呈弧形分布的支撑杆,所述支撑杆上并排放置有若干硅片,两侧所述U型篮侧挡板的上端均设有可转...该专利属于磐石创新(江苏)电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过磐石创新(江苏)电子装备有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请公开了一种半导体硅片防掉落装置,包括防掉篮以及设置在防掉篮上方的晶托,所述防掉篮包括两个相对设置的U型篮侧挡板,两侧所述U型篮侧挡板之间连接有若干呈弧形分布的支撑杆,所述支撑杆上并排放置有若干硅片,两侧所述U型篮侧挡板的上端均设有可转...