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本实用新型提供一种晶片工艺卡具，其特征在于，包括：一底座，该底座为一圆柱体；多个四面锥体，所述四面锥体均匀分布于底座的上表面，所述四面锥体的锥端均朝向底座上表面的中心；多个立柱，该多个立柱直立固定在底座的上表面，且位于两两四面锥体之间。...
该专利属于云南中科鑫圆晶体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南中科鑫圆晶体材料有限公司授权不得商用。

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