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本发明提供一种半导体装置及其制备方法,该装置包括:衬底;第一氮化物半导体层,位于衬底上方;第二氮化物半导体层,位于第一氮化物半导体层上方,第二氮化物半导体层的带隙大于第一氮化物半导体层的带隙;第一导电结构,位于第二氮化物半导体层之上;第一介...该专利属于英诺赛科(珠海)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英诺赛科(珠海)科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种半导体装置及其制备方法,该装置包括:衬底;第一氮化物半导体层,位于衬底上方;第二氮化物半导体层,位于第一氮化物半导体层上方,第二氮化物半导体层的带隙大于第一氮化物半导体层的带隙;第一导电结构,位于第二氮化物半导体层之上;第一介...