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激光加工装置制造方法及图纸
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文档序号:39984150
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本发明提供激光加工装置,该激光加工装置能够消除由于在电扫描器中产生的惯性力的负载而导致电扫描器的寿命降低的问题。激光加工装置的激光光线照射单元包含:激光振荡器,其射出激光光线;X轴电扫描器,其将激光振荡器射出的激光光线沿X轴方向进行引导;Y...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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