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用于电子装置制造系统的工厂接口可包括设置在此工厂接口的内部空间内的装载锁定机构及设置在此工厂接口的此内部空间内的工厂接口机器人。此工厂接口机器人可被配置为在第一组基板载体与第一装载锁定机构之间传递基板。此工厂接口机器人可包括竖直塔、多个连杆...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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