【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开内容的实施方式一般涉及用于使多个工厂接口机器人能够与集成到工厂接口占地面积中的装载锁定机构互动的系统及方法。
技术介绍
0、背景
1、电子装置制造系统可包括一个或多个用于传送及制造基板的工具或部件。此类工具或部件可包括连接到装载锁定机构和/或传递腔室的工厂接口。在某些情况下，装载锁定机构位于传递腔室与工厂接口之间。然而，由于制造系统使用大的操作占地面积，此种配置可能为低效的。例如，此种配置可具有较长的宽度和/或长度以及较大的未使用空间部分。因此，寻求以提高占地面积效率来传送及制造基板的改进的电子装置制造系统、设备及方法。
技术实现思路
0、概述
1、所描述的一些实施方式涵盖了电子装置制造系统的工厂接口。此工厂接口包括设置在此工厂接口的内部空间内的第一装载锁定机构及设置在此工厂接口的此内部空间内的第一工厂接口机器人。此第一工厂接口机器人被配置为在第一组基板载体及此第一装载锁定机构之间传递基板。此工厂接口机器人包含竖直塔、多个连杆及终端受动器。
2、在...
【技术保护点】
1.一种用于电子装置制造系统的工厂接口，所述工厂接口包括：
2.如权利要求1所述的工厂接口，其中所述竖直塔包含竖直驱动机构，所述竖直驱动机构被配置为向所述多个连杆提供在z轴上的线性移动。
3.如权利要求2所述的工厂接口，其中所述多个连杆中的近端连杆耦接到所述竖直驱动机构。
4.如权利要求1所述的工厂接口，其中所述多个连杆中的远程连杆耦接到所述终端受动器。
5.如权利要求1所述的工厂接口，进一步包括：
6.如权利要求5所述的工厂接口，其中所述第一装载锁定机构比所述第二装载锁定机构更靠近所述第一工厂接口机器人，且...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于电子装置制造系统的工厂接口，所述工厂接口包括：
2.如权利要求1所述的工厂接口，其中所述竖直塔包含竖直驱动机构，所述竖直驱动机构被配置为向所述多个连杆提供在z轴上的线性移动。
3.如权利要求2所述的工厂接口，其中所述多个连杆中的近端连杆耦接到所述竖直驱动机构。
4.如权利要求1所述的工厂接口，其中所述多个连杆中的远程连杆耦接到所述终端受动器。
5.如权利要求1所述的工厂接口，进一步包括：
6.如权利要求5所述的工厂接口，其中所述第一装载锁定机构比所述第二装载锁定机构更靠近所述第一工厂接口机器人，且所述第二装载锁定机构比所述第一装载锁定机构更靠近所述第二工厂接口机器人。
7.如权利要求5所述的工厂接口，进一步包括：
8.如权利要求7所述的工厂接口，其中所述第一组装载端口及所述第二组装载端口中的每个装载端口包括：
9.如权利要求7所述的工厂接口，进一步包括：
10.如权利要求1所述的工厂接口，进一步包含：
11.如权利要求5所述的工厂接口，其中所述工厂接口进一步包括：
12.一种工厂...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏斯汉特·S·科希特，保罗·B·路透，大卫·菲利普斯，雅各布·纽曼，安德鲁·J·康斯坦特，迈克尔·R·赖斯，谢伊·阿萨夫，斯里尼瓦斯·波沙特拉哈利·戈帕拉克里希纳，德文德拉·钱纳帕·霍利安纳瓦尔，道格拉斯·B·鲍姆加滕，阿伦库马尔·拉马查德拉亚，纳拉亚南·拉马钱德兰，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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