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一种用于检测由带电粒子评估系统生成的样品图像中的缺陷的数据处理设备，该设备包括：输入模块、滤波器模块、参考图像模块和比较器。输入模块被配置为从带电粒子评估系统接收样品图像。滤波器模块被配置为将滤波器应用于样品图像，以生成经滤波的样品图像。参...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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