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本发明提供一种能够抑制三维结构崩坏的技术。基板处理方法包含磷酸处理工序(S13)、粗冲洗处理工序(S15)以及叶片干燥处理工序(S23)。在磷酸处理工序(S13)中，使多个基板浸渍于处理槽内的磷酸。在粗冲洗处理工序(S15)中，在磷酸处理工...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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