下载声表面波谐振器、MEMS设备的技术资料

文档序号:39973524

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及谐振器技术领域,公开一种声表面波谐振器,包括:压电衬底,用于声电换能;压电衬底的外表面设置有叉指电极结构;叉指电极结构,通过施加电压以激励声电换能;第一温度补偿层,设置在叉指电极结构和未被叉指电极结构覆盖的压电衬底上;第一温度补偿...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。