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本技术提供一种用于晶圆掺杂加工的石英支撑底座，属于晶圆掺杂加工用具技术领域，以解决传统的石英支撑底座难以减少晶圆片底面的掺杂的问题，包括底座主体；所述底座主体的固定连接有去掺杂件；所述去掺杂件的内部卡接设置有连接板和卡圈，去掺杂件的底端固定...
该专利属于苏州鑫泓电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州鑫泓电子科技有限公司授权不得商用。

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