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温度检测装置以及半导体处理装置制造方法及图纸
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下载温度检测装置以及半导体处理装置的技术资料
文档序号:39960001
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提供能以高的精度检测半导体晶片的温度的温度检测装置。控制器在将光检测器中测定的光的光谱归一化时,将相当于绝对零度下的半导体的带隙能量的波长设为极小波长,将与极小波长相比短波长区域中的光强度的最小值确定为极小值,将相当于设想为温度测定范围的最...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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