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本发明实施例提供了一种半导体工艺配方的比较方法和装置。方法包括：获取第一配方和第二配方；第一配方包括多个第一工艺步骤和各个第一工艺步骤对应的第一配置项；第二配方包括多个第二工艺步骤和各个第二工艺步骤对应的第二配置项；将第一工艺步骤的第一配置...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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