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本技术公开了一种晶圆清洗结构，包括底座，底座的顶部固定连接有固定筒，固定筒的前侧设置有集水槽，集水槽固定连接在底座上，其横截面为圆形，且集水槽的侧壁开设有排水管，排水管内安装有排水阀，集水槽内安装有定位组件，固定筒为方形筒结构，其筒内插入有...
该专利属于上海微世半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微世半导体有限公司授权不得商用。

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