温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种晶圆夹持操作平台，涉及晶圆夹持平台技术领域，包括夹持操作平台、左夹持结构和右夹持结构，所述夹持操作平台的上端面中部设置有安装板，且安装板的中部上设置有第一伸缩气缸，并且第一伸缩气缸的上端固定有顶板，所述夹持操作平台的上端面左...
该专利属于江苏东煦电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏东煦电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。