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一种用于电子装置制造系统的基板处理系统可包括形成内部容积的工厂接口，及设置在工厂接口中的分隔物。所述分隔物可将内部容积分成形成第二内部容积的第一工厂接口腔室及形成第三内部容积的第二工厂接口腔室。所述分隔物可被配置为在第一工厂接口腔室中提供第...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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