【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开内容的实施方式总体涉及用于实现工厂接口内的多个子系统以在部件故障情况下促进冗余度的系统及方法。
技术介绍
1、电子装置制造系统可包括用于传输及制造基板的一或更多个工具或部件。这样的工具或部件可包括连接到装载锁定及/或传送腔室的工厂接口。工厂接口可包括工厂接口机械手，所述工厂接口机械手被配置为在停靠在装载端口和装载锁定处的基板载体之间传送基板。工厂接口可进一步维持大气压或接近大气压的惰性气体环境，以便于将基板传送至装载锁定和从装载锁定传送。然而，若遇任何部件故障，诸如工厂接口机械手、被配置为向工厂接口提供空气的空气实用物线路、被配置为向工厂接口提供真空的真空实用物线路等，可使整个制造系统停止运转(shut down)以进行维护。相应地，期望用于在部件故障的情况下提供冗余度的改进的电子装置制造系统、设备及方法。
技术实现思路
1、所述的一些实施方式涵盖用于电子装置制造系统的基板处理系统。所述基板处理系统包括形成内部容积的工厂接口及设置在工厂接口中的分隔物。分隔物将内部容积分成第一工厂接口...
【技术保护点】
1.一种基板处理系统，包括：
2.如权利要求1所述的基板处理系统，其中所述分隔物包括开口，且所述基板处理系统进一步包括：
3.如权利要求2所述的基板处理系统，进一步包括：
4.如权利要求2所述的基板处理系统，其中所述第一门包括基板穿过站，以用于在所述第一工厂接口腔室与所述第二工厂接口腔室之间传递基板。
5.如权利要求4所述的基板处理系统，其中所述第一工厂接口机械手被配置为进行以下至少一者：将基板放置到所述基板穿过站上或者从所述基板穿过站取回所述基板。
6.如权利要求3所述的基板处理系统，其中基板穿过站定位于所...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种基板处理系统，包括：
2.如权利要求1所述的基板处理系统，其中所述分隔物包括开口，且所述基板处理系统进一步包括：
3.如权利要求2所述的基板处理系统，进一步包括：
4.如权利要求2所述的基板处理系统，其中所述第一门包括基板穿过站，以用于在所述第一工厂接口腔室与所述第二工厂接口腔室之间传递基板。
5.如权利要求4所述的基板处理系统，其中所述第一工厂接口机械手被配置为进行以下至少一者：将基板放置到所述基板穿过站上或者从所述基板穿过站取回所述基板。
6.如权利要求3所述的基板处理系统，其中基板穿过站定位于所述第一门与所述第二门之间。
7.如权利要求2所述的基板处理系统，其中所述第一门是能够竖直及水平移动的l形门。
8.如权利要求1所述的基板处理系统，进一步包括：
9.如权利要求8所述的基板处理系统，进一步包括：
10.如权利要求8所述的基板处理系统，进一步包括：
11.如权利要求1所述的基板处理系统，进一步包括：
12.如权利要求8所述的基板处理系统，进一步包括：
13.如权利要求12所述的基板处理系统，其中所述基板穿过站包括至少一个基板平台及提升部件。
14.如权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：保罗·本杰明·路透，克里斯汀·池田，苏斯汉特·S·科希特，杰弗里·C·赫金斯，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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