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本发明提供了一种氧化钼钽靶材的制备方法,所述制备方法将三氧化钼粉与钽粉混合均匀得到混合粉末,再将粘结剂溶液与所述混合粉末混合均匀得到混合料,然后将所述混合料进行喷雾造粒得到类球形氧化钼钽粉末,最后依次进行冷压、热压烧结、机械加工,得到氧化钼...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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