下载一种触控器件的铜合金触控靶材的制备方法的技术资料

文档序号:39930459

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本发明公开了一种触控器件的铜合金触控靶材的制备方法,其技术方案要点是:包括以下具体步骤:步骤1、靶材掺杂元素的选取和配比:根据最终所需达到膜层性能,从Zr、Cr、Zn、Al中选取计算,并分析出靶材元素掺杂元素种类和配比;步骤2、真空熔炼:将...
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