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本发明实施例公开了一种碳化硅晶体的粘接方法及粘接装置，应用于晶体加工技术领域，所述方法包括：确定基准碳化硅晶体；在托底材料上确定预设基准位，所述托底材料为石墨材质；将所述基准碳化硅晶体按照预设朝向放置于所述预设基准位；将待粘接碳化硅晶体以所...
该专利属于北京粤海金半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京粤海金半导体技术有限公司授权不得商用。

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