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描述了用于形成掺钌氮化铌阻挡层的方法。掺杂阻挡层在小于约的厚度下提供改善的粘附性。在一些实施方式中，本文公开的掺杂阻挡层提供改进的阻挡特性，包括更低的氮含量、更高的钌含量、更好的覆盖性、更薄的层或更低的线电阻。...
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