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本实用新型提供一种进气装置及半导体工艺设备，进气装置包括容器、进气管、导气管和浮子；容器内部盛装有能够蒸发形成气体的液体；进气管的流入端与气源连通、流出端伸入至容器内；导气管具有进气端和出气端，进气端与流出端连通，且进气端通过转动轴与进气管...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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