温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种磁悬浮转子，应用于半导体工艺设备。磁悬浮转子包括：转子主体，用于通过与磁悬浮定子相互作用而旋转；环形承载壁，设置于转子主体的顶部，用于承载晶圆。磁悬浮转子包括设置于转子主体顶部的环形承载壁，能够增加磁悬浮转子的风阻受力面积...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。