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本实用新型提供一种射频电源，涉及半导体技术领域，包括：冷却壳体，设置在射频电源内部；冷源部件，设置在冷却壳体的内部，冷却壳体的内壁与冷源部件的外壁之间能够形成真空腔室；电路板，设置于冷源部件朝向真空腔室的一侧；解决现有技术中为了射频电源的冷...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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