一种射频电源制造技术

本实用新型专利技术提供一种射频电源，涉及半导体技术领域，包括：冷却壳体，设置在射频电源内部；冷源部件，设置在冷却壳体的内部，冷却壳体的内壁与冷源部件的外壁之间能够形成真空腔室；电路板，设置于冷源部件朝向真空腔室的一侧；解决现有技术中为了射频电源的冷却导致射频电源内部容易出现冷凝而损坏的问题

【技术实现步骤摘要】
一种射频电源


[0001]本技术属于半导体
，更具体地，涉及一种射频电源
。

技术介绍

[0002]射频电源是半导体工艺设备的核心零部件，其主要用是产生和维持等离子体
。
射频电源的输出功率一般都比较大，工作过程中会产生大量热，因此射频电源一般需要用水冷却，这就对电源使用环境的温湿度以及冷却水的温度提出了较高的要求，一旦环境的温湿度与冷却水的温度控制不好，就会造成水蒸气冷凝，冷凝水会使内部电路造成短路
、
电源的烧毁，影响工艺的进度，给客户造成产能的巨大损失
。
[0003]目前一些厂商对射频电源的内部关键电路做了防水处理，被动保护射频电源内部的关键电路
。
但实际应用效果不好，仍然会发生因发生冷凝而烧毁射频电源的事故发生，而且防水处理影响了射频电源关键器件的散热效果，容易引起过温，对元器件的寿命有直接影响
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对现有技术中存在的不足，提供一种射频电源，解决现有技术中为了射频电源的冷却导致射频电源内部容易出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种射频电源，其特征在于，包括：冷却壳体，设置在所述射频电源内部；冷源部件，设置在所述冷却壳体的内部，所述冷却壳体的内壁与所述冷源部件的外壁之间能够形成真空腔室；电路板，设置于所述冷源部件朝向所述真空腔室的一侧
。2.
根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述射频电源还包括加热组件，所述加热组件与所述冷源部件连接，并用于加热所述冷源部件
。3.
根据权利要求2所述的射频电源，其特征在于，所述冷源部件包括液冷板，所述液冷板的内部设置有液冷腔，所述液冷板上连接有与所述液冷腔连通的进液管和出液管，所述进液管和所述出液管贯穿所述冷却壳体并向外延伸
。4.
根据权利要求3所述的射频电源，其特征在于，所述加热组件位于所述冷却壳体的外侧，并用于加热所述进液管内的冷却介质
。5.
根据权利要求4所述的射频电源，其特征在于，所述加热组件包括涡流加热丝，所述涡流加热丝环绕在所述进液管外周，并与所述进液管之间形成间隙，所述进液管为金属管，以使得所述涡流加热丝对所述进液管内的冷却介质进行涡流加热
。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭阳，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：